Na voljo ciljne stopnje čistosti niobija MH

99,95 % (4N) niobijeva tarča

● Ultra{0}}visoka čistost z izjemno nizko vsebnostjo kovinskih in plinastih nečistoč

● Stabilna plazma, nizko nastajanje delcev

● Primerno za polprevodniške, superprevodne in visoko{0}}elektronske filme

99,9 % (3N) niobijeva tarča

● Visoka čistost z odličnim-razmerjem med ceno in zmogljivostjo

● Zanesljiva stabilnost brizganja za industrijske premaze

● Primerno za splošne elektronske, optične in funkcionalne premaze

MH niobijeve ciljne oblike

Dobavljamo niobijeve tarče v različnih geometrijah, da se ujemajo z različnimi sistemi razprševanja:

Pravokotna/kvadratna tarča

● Planarni razpršilni sistemi

● Katode za magnetronsko razprševanje

● Veliko{0}}površinsko enakomerno nanašanje filma

Tubular Target

● Rotacijski sistemi za naprševanje

● Višja ciljna stopnja izkoriščenosti

● Izboljšana enotnost premaza in učinkovitost proizvodnje

(Mere po meri in možnosti lepljenja so na voljo na zahtevo.)

MH Niobium Target Specification Range

Čistost	99.9%, 99.95%
Gostota	Večja ali enaka 99,9 % teoretične gostote
Struktura zrn	Fino in enotno
Površinska obdelava	Ra0,4
Pravokotna/kvadratna tarča	Dolžina manjša ali enaka 3000 mm, širina manjša ali enaka 800 mm, debelina (mm) 1~20 mm
Tubular Target	Zunanji premer 10-400 mm, stena 2-28 mm

99,95 % proti 99,9 % – Vodnik za izbiro

Postavka	99,95 % Nb Cilj	99,9 % Nb Cilj
Stopnja čistosti	Ultra{0}}visoka čistost (4N)	Visoka čistost (3N)
Vsebnost nečistoč	Izjemno nizka	Nizka
Kakovost filma	Najvišja enotnost in stabilnost	Stabilna, industrijska-razred
Generacija delcev	Minimalno	Nizka
Tipične aplikacije	Polprevodniki, superprevodni filmi, raziskave in razvoj	Optični premazi, funkcionalni filmi, masovna proizvodnja
Raven stroškov	višje	Bolj ekonomično

Pravokotna proti cevasti tarči – Vodnik za izbiro

Primerjava	Pravokotna/kvadratna tarča	Tubular Target
Združljivost procesov	Planarno razprševanje, magnetronsko razprševanje	Cilindrično naprševanje
Poraba materiala	20%~30%	70%~85%
Stroški nabave	Zmerno	Veliko višje od tarč na ploščah
Učinkovitost proizvodnje	Majhne serije, več-različni premazi	Velike serije in neprekinjeni premazi
Površinska obdelava	Fino brušenje in poliranje	Fino brušenje, težje
Predlagani materiali	Čisti niobij (99,95 %), Nb-1Zr	Čisti niobij (99,95 %), Nb-1Zr (posebni namen za visoke temperature)

Tipične uporabe MH niobijeve tarče

Polprevodniški tanki filmi

Superprevodne niobijeve prevleke

Optični in dekorativni premazi

Prikazovalne in elektronske naprave

Raziskovalni in napredni funkcionalni filmi

Zakaj izbrati MH niobijeve tarče

● Visoka čistost in stabilna zmogljivost razprševanja

● Enotna mikrostruktura in visoka gostota

● Na voljo je več geometrij: pravokotna in cevasta

● Mere po meri in rešitve lepljenja

● Preverjena uporaba pri naprednih premazih

Naše tarče za razprševanje iz niobija zagotavljajo zanesljivo čistost, dosledno obnašanje pri razprševanju in visoko{0}}kakovostno delovanje filma za zahtevne tankoslojne aplikacije.